沈陽(yáng)半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)成立技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟：優(yōu)勢(shì)互補(bǔ) 組團(tuán)成長(zhǎng)

雙臂，四指，真空機(jī)械手有節(jié)奏地伸縮旋轉(zhuǎn)。

“伸縮動(dòng)作3.2秒，旋轉(zhuǎn)90度1.5秒，旋轉(zhuǎn)180度2.2秒……”沈陽(yáng)新松機(jī)器人股份有限公司半導(dǎo)體事業(yè)部工程師，正在實(shí)驗(yàn)室跟蹤數(shù)據(jù)、調(diào)試產(chǎn)品。

“這是新松第一次對(duì)外提供雙臂真空機(jī)械手�！惫�司事業(yè)部副總裁楊奇峰介紹，這個(gè)產(chǎn)品專為沈陽(yáng)拓荊科技有限公司的半導(dǎo)體薄膜設(shè)備開(kāi)發(fā)。

拓荊科技和新松機(jī)器人都是沈陽(yáng)半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟的骨干成員，處于沈陽(yáng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的上下游。

“拓荊負(fù)責(zé)雙臂真空機(jī)械手的需求導(dǎo)入與應(yīng)用驗(yàn)證，新松負(fù)責(zé)產(chǎn)品研制，面向市場(chǎng)、客戶導(dǎo)向，研制過(guò)程中邊開(kāi)發(fā)邊測(cè)試�！睏钇娣逭f(shuō)，“根據(jù)客戶需求，經(jīng)過(guò)3個(gè)多月攻關(guān)，目前新產(chǎn)品已進(jìn)入測(cè)試階段。研發(fā)成果也豐富了新松的產(chǎn)品系列，將提升終端廠的產(chǎn)能，實(shí)現(xiàn)共贏�！�

半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)被譽(yù)為制造業(yè)皇冠上的明珠，產(chǎn)業(yè)鏈細(xì)分環(huán)節(jié)多、專業(yè)性強(qiáng)，這也意味著技術(shù)研發(fā)的高投入。2008年，沈陽(yáng)半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟在沈陽(yáng)高新區(qū)管委會(huì)的支持推動(dòng)下正式成立，之后高新區(qū)組織聯(lián)盟骨干成員聯(lián)合申報(bào)承擔(dān)國(guó)家重大專項(xiàng)，在組織項(xiàng)目、研發(fā)過(guò)程中，經(jīng)授權(quán)可以合理使用聯(lián)盟其他成員的專利技術(shù)。

真空機(jī)械手是影響整機(jī)研發(fā)進(jìn)度和產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力的關(guān)鍵部件，楊奇峰和他的團(tuán)隊(duì)一點(diǎn)都不敢疏忽。

“在客戶使用環(huán)境中產(chǎn)品依然保持穩(wěn)定、可靠才行，這還需要大量驗(yàn)證�！睏钇娣逭f(shuō)，“對(duì)于新產(chǎn)品，越少人用，產(chǎn)品的穩(wěn)定性和可靠性就越難做上去。正是國(guó)家項(xiàng)目支持、聯(lián)盟企業(yè)彼此寬容，幫我們度過(guò)了最初的業(yè)績(jī)積累期。新松的單臂真空機(jī)械手目前已批量應(yīng)用于國(guó)內(nèi)主流半導(dǎo)體工藝設(shè)備�！�

經(jīng)過(guò)多年發(fā)展，沈陽(yáng)半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟由弱到強(qiáng)，19家企業(yè)、科研院所和高校覆蓋了半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)鏈的不同環(huán)節(jié)，多個(gè)企業(yè)年產(chǎn)值突破2億元。

展望“十四五”，楊奇峰和他的團(tuán)隊(duì)信心更足。“作為企業(yè)，要擔(dān)起創(chuàng)新主體的責(zé)任，加大技術(shù)攻關(guān)力量，為優(yōu)化升級(jí)產(chǎn)業(yè)鏈做貢獻(xiàn)�！�